VPSA ilt anlæg udvikling

I 1891 påbegyndte det tyske firma Linde arbejdet med luftvæske i kølemaskinens laboratorium.
I 1895 lavede professor Linde det første flydende luftapparat ved hjælp af Joule-Thomson-effekten.
I 1901 etablerede Linde en fabrik til fremstilling af kryogent udstyr i München.
I 1902 stod luftsepareringsudstyret til det første et-trins enretningstårn, designet af Linde, færdigt. Franske Kraut opfandt ekspansionsmaskinen og etablerede Air Liquefaction-virksomheden i Paris.
I 1903 lavede Linde den første industrielle 10m3/h iltgenerator ved hjælp af en højtryksdrosselproces.
I 1910 lavede Frankrig den første 50m3/h oxygengenerator ved hjælp af en mellemtryksproces med en stempelekspansionsmaskine.
I 1920 opfandt Hyland, Tyskland, en højtryksproces til fremstilling af flydende oxygen med en højtryksekspansionsmaskine.
I 1924 foreslog Frankel, at man i stort luftseparationsudstyr skulle bruge metalfyldte kølere i stedet for almindelige varmevekslere.
I 1926 foreslog Frankel den almindelige form for kuldeakkumulator.
I 1930 lavede Linde den første Linde Frankel-enhed i industriel skala med en ydelse på 255m3/h og en renhed på 99,5 procent O2.
I 1932 blev turboexpanderen brugt for første gang på Linde-Frankel-enheden. Ilt blev først brugt i metallurgi og ammoniaksyntese i Tyskland.
I 1939 skabte Sovjetunionen en højeffektiv turboexpander og begyndte at studere det fulde lavtryksluftseparationsudstyr.
I 1947 dedikerede Linde sig til det industrielle iltfremstillingsudstyr med fuld bundtryk. Sovjetunionen begyndte at designe store industrielle iltanlæg med fuld lavtryksprocesser.
I 1949, USA for første gang i 29000m3/h oxygen generator på anvendelse af plade vridning varmeveksler.
I 1952 brugte Østrig først ren oxygen topblæst konverter til at fremstille stål, hvilket medførte en kraftig stigning i metallurgisk oxygen.
I 1955 udviklede USA kraftigt missiler og forbrugte en stor mængde flydende ilt som accelerant.
I 1957 blev den første automatisk drevne 120 tons/dag iltgenerator lavet.
I 1960 færdiggjorde Japan 10000m3/h99,6 procent O2 og 10000m3/h99,99 procent N2 dobbelt høj renhed storskala fuld lavspændingsudstyr.
I 1972 lavede Frankrig verdens største kapacitet af ren iltluftsepareringsudstyr: 1700 tons/dag O2 og 1500 tons/dag N2.
Større enheder er stadig under undersøgelse.